單晶爐是一種在比較惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅的等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐型號有兩種命名的方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如85爐，是指主爐筒的直徑大小，120、150等型號是由裝料量來決定的。單晶爐的構(gòu)成主要包括：

　　提拉頭：主要由安裝盤減速機(jī)籽晶腔劃線環(huán)電機(jī)磁流體籽晶稱重頭軟波紋管、導(dǎo)電滑環(huán)等其他部件組成

　　副室：主要是副室筒以及上下及法蘭組成

　　爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗抽真空管道組成

　　爐筒：包括取光孔

　　下爐筒：包括抽真空管道

　　底座機(jī)架：主要是全鑄鐵機(jī)架和底座

　　坩堝下傳動裝置：主要由磁流體電機(jī)坩堝支撐軸減速機(jī)軟波紋管立柱上下傳動支撐架導(dǎo)軌等部件組成

　　分水器已經(jīng)是水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管水管卡套等

　　氬氣管道布置：質(zhì)量流量計(jì)3根以上的柔性管不銹鋼管3個(gè)壓力探測器高密封性卡套等部件

　　真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵水環(huán)真空泵過濾器真空管道硬波紋管等

　　電源以及電控柜：電源柜濾波柜控制柜以及連接線。

　　導(dǎo)電滑環(huán)作為單晶爐上一個(gè)重要的零配件，也起著非常重要的作用。導(dǎo)電滑環(huán)是用于提拉頭信號傳輸及電源供給的，通過360°的旋轉(zhuǎn)來傳遞電流及信號。所以一旦導(dǎo)電滑環(huán)出現(xiàn)故障，提拉頭信號就無法正常傳輸，就會導(dǎo)致單晶爐無法正常運(yùn)作。